Subject   : SAWデバイス(Surface acoustic device)

カテゴリー : デバイス > センサ


 SAWデバイス(Surface acoustic device)
 日本語では弾性表面波素子と呼ばれています。弾性表面波とは弾性体(固体)の表面を伝わる波のことです。

SAWの特徴
(1) 振動モードのなかでも高周波(60MHz以上)を扱う。
(2) 電極が櫛形電極となっており独特な形状をしている。


SAWの励振方法
 SAWは、独特な形状の圧電基板上に配置したIDTに電界をかけて励振します。IDTは(Interdigital Transducer)の略で、日本語では櫛形電極と呼ばれています。IDTの中心周波数を f 、IDTの周期を 2d 、表面波の伝播速度を v とすると
   v=2d×f
という関係があります。表面波の伝播速度は基板材料により異なる値をもち、水晶のSTカットの場合は約3100m/secの値を持ちます。


 SAWデバイスは民生機器のフィルタや共振器として使用されます。

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