波長可変MEMS光検出器

　MEMSファブリペロー干渉計は光検出器の波長トラッキングにも利用できる．Wuら(28) はカンチレバーを上部の分布ブラッグ反射板（DBR）ミラーとして使うことによって世界最初のMEMS垂直共振器波長可変検出器を開発した．彼らは共振空洞検出器に対して，7Vのチューニング電圧で，30nmの連続チューニングと17dBの吸光率を達成した．

上部ミラーは2組のDBR反射鏡から構成されている．つまり，可動上部反射鏡は18対DBRミラーのカンチレバーであり，上部反射鏡の固定部分は2対のDBRである．下部DBRはGaAs基板に成長した13対DBRミラーから構成されている．電圧を印加することによって，カンチレバーが基板側に引き付けられ，共振ファブリペロー波長が変化する．．

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　⇒　干渉法