MEMS（Micro Electro Mechanical Systems Technology）

　MEMSとは、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズの略称。半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのことです。 日本では「マイクロマシン」と呼ばれています。 ヨーロッパで「MST」(Microsystem Technology)と呼ばれるものもほぼ同義です。

　技術応用例としては、プロジェクタの光学素子の一種 DMD(Digital Micromirror Device)や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどの各種のセンサーなどがある。今後は製造業はもとより、医療分野などでも応用が期待されている。MEMSは一つの基板にセンサや信号回路、アクチュエータなどが搭載された３次元の構造体であり、入出力が電気信号以外にエネルギーや機械変位、物理量など、多岐多様にわたることも大きな特長です。

種類	コメント
圧力センサ	自動車エンジンの圧力測定、血圧計、気圧計、ガス圧計
加速度センサ	自動車エアバック衝撃検知、携帯電話、ハードディスク落下検知、 アミューズメント分野
マイクロジャイロ	ゲーム機
DMD	小型プロジェクタ、背面投影型ＴＶ、大画面ビデオシアター
光スイッチ	情報通信（光通信）
RF-MEMSスイッチ	高速無線通信機器などへの搭載
共振器（レゾネータ）	第4世代携帯電話向け多周波対応デバイス
マイクロポンプ	化学／バイオ／分析血液分析の小型高速化
カンチレバー	原子間力顕微鏡

○　光ＭＥＭＳ

光スイッチ（アレイ）、 光スキャナ、光コネクタ、 光可変減衰器（アレイ）、波長可変フィルタ、波長可変レーザ、光導波路センサ、赤外線センサアレイ　他

○　流体ＭＥＭＳ

マイクロＴＡＳ、マイクロバルブ、流体セル、マイクロポンプ、マイクロリアクター、マイクロ流路、マイクロ流体システムなどがあります。

MEMSフローセンサは、環境負荷の低い次世代エネルギーとして注目されている燃料電池システムの部品として、重要な役割を担っています。
燃料電池は、都市ガスに含まれる水素と空気中の酸素とを化学反応させることで発電する仕組みです。発電効率を最大化するためには水素と酸素を最適な混合比で燃焼させる必要があり、ここでMEMSフローセンサの高精度な測定技術が活かされています。

○　アクチュエータＭＥＭＳ

圧電駆動型ＭＥＭＳスイッチ、静電駆動型ＭＥＭＳスイッチ、強磁性体スイッチ、形状記憶合金スイッチ、エレクトロウェッティングスイッチ、カンチレバーなど

○　バイオ・化学ＭＥＭＳ

バイオチップ、ＤＮＡチップ、たんぱく質チップ、ＤＤＳ、バイオリアクター、ＤＮＡチップマニュピレーション、バイオセンサ・アクチュエータ　他

　　（出典）：（財）マイクロマシンセンター

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