ナノインプリンティング法

　　フォトリソ法などで微細な溝パターンを設けたスタンプ(型)を基板上の樹脂膜などに押しつけて転写成形してパターニングする方法。

nmオーダーの微細パターンが得られるため、ナノインプリンティング法と呼ばれる。また、成形した膜をどのように硬化させるかによって熱ナノインプリンティング法と光ナノインプリンティング法に分かれる。

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