YMS（Yield Management System）

　歩留まり管理システムの略。

歩留まりモニタと欠陥検査〜解析、その結果に基づく欠陥発生工程へのフィードバックやAPC（Advanced　Process　Control）による装置レシピへのフィードフォワードなどの処置・対策を行いながら総合的に歩留まりを管理・向上させる統合システム。

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